前不久,在苏州工业园区,国家第三代半导体技术创新中心(苏州)发布“揭榜挂帅”项目指南。该中心副主任、江苏第三代半导体研究院院长徐科表示,发布第三代半导体“揭榜挂帅”项目,是为了加快人才集聚、协作突破难点,加大关键核心技术攻关力度,全力推进该领域高水平科技自立自强。目前,第三代半导体材料生产装备及核心部件开发等关键技术项目已由厦门大学、西安交通大学等高校揭榜。

  自2006年在国内率先布局纳米技术应用产业以来,苏州工业园区一步步建载体、引人才、招企业,构建日益完善的产业生态,推动从研究走向应用、从技术走向产业。

  产业培育“慢工出细活”

  纳米技术应用产业空间大、潜力足,但与之相对的是投入大、回报慢。锚定目标,一张蓝图绘到底。经过十多年悉心培育,纳米产业在这里从“零基础”变成“千亿级”,目前园区已跻身全球五大纳米产业集聚区之一,以园区为核心的苏州市纳米新材料集群入选国家先进制造业集群,产业创新集群建设高歌猛进。

  “纳米技术应用产业的发展,既要看得远,前瞻布局规划先行;又要沉住气,甘于坐‘冷板凳’,慢工才能出细活。”苏州纳米科技发展有限公司董事长张淑梅说。

  一番梳理之下,该产业发展路径和关键节点历历在目——

  2006年,中科院苏州纳米所在独墅湖畔成立,拉开了苏州纳米技术应用产业发展的序幕;

  2010年,园区在国内率先将纳米技术应用产业列为区域战略性新兴产业,通过实施纳米科技领军人才计划、纳米三年双倍增计划等,吸引海内外高层次人才纷至沓来;

  2013年,作为园区发展纳米技术应用产业的主阵地,苏州纳米城正式投用,后被认定为“国家级科技企业孵化器”;2019年,江苏省第三代半导体研究院成立;2021年,国家第三代半导体技术创新中心(苏州)挂牌成立……

  至2023年,园区已累计落户近40家行业相关科研院所、高校研究院。通过鼓励科研机构与企业联合立项、攻关,园区在高性能微球材料、先进半导体材料、高端芯片研发等10多个领域不断取得核心技术突破,填补多项国内外空白。

  在17年的发展过程中,园区逐步探索出“十个一”产业培育机制,即聚焦一个特色产业、制定一个产业规划、组建一家国资公司、建设一个功能园区、引进一批大院大所、设立一只产业基金、成立一个服务机构、集聚一批龙头企业、搭建一批合作平台、打造一个品牌盛会。

  激发各类要素活力效能

  苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城,胜科纳米(苏州)股份有限公司实验室内,公司创始人李晓旻正在和团队进行样品测试。“芯片封装完毕后,可能仍有潜在的瑕疵和缺陷,用在关键设备上会发生故障。我们要做的,就是找出这些瑕疵并进行优化。”李晓旻说,这项“芯片医生”工作专业性极强。

  胜科纳米所在的苏州纳米城,是全球最大的纳米技术应用产业综合社区,也是苏州市纳米新材料创新集群核心区之一,由苏州纳米科技发展有限公司负责运营与建设。这里集聚了200多家纳米新材料企业,其中不乏纳微科技、纳维科技等资本市场看好的“明星企业”,在半导体器件、新型显示与照明、生物医药等领域都处于上游核心环节。

  纵观园区纳米产业发展,可以发现,几乎每个节点上都有像苏州纳米科技这样的国资力量承担着“链主”功能。苏州纳米科技公司通过一系列举措,使各类要素发挥最大最直接的产业促进效能。以搭建平台为例,园区在基础性平台上,建立纳米加工平台、纳米测试分析平台等;在技术支撑与工程化方面建立MEMS中试平台等,同时建立标准与检测中心,服务园区企业的技术科研、产品创新、产业化发展需求。

  苏州工业园区先后汇集了15家纳米产业相关的上市公司,其中苏州纳米城孵化了5家上市公司,且形成上市企业梯队。此外,园区纳米产业相关基金已超10只,总规模约20亿元,后续则引导80亿至100亿元投资规模。

  打造新材料产业创新集群

  在纳米产业的培育发展中,苏州工业园区尤其注重科技自立自强,牢牢把握创新主动权、发展主动权,努力实现关键核心技术自主可控。

  建设“大科学装置”,中科院苏州纳米所纳米真空互联实验站二期日前顺利通过验收,这是目前世界上最大的真空互联科研装置,集材料原位生长、器件加工、测试分析为一体。走进其中,只见长达203米的超高真空管道纵横交错,连接了近40台大型设备,管道旁,待试验样品被机械手送进设备后传送至相应节点。截至2022年12月,实验站累计开展合作课题651个,建立起辐射长三角地区、延伸海内外的用户科研服务体系。

  国家第三代半导体技术创新中心(苏州)落户苏州工业园区,不仅彰显区域科研实力,也成为助推创新资源集聚的又一抓手。自2021年3月获批并启动建设以来,随着国家级平台、领军企业、代表性人才加速落地,国创中心(苏州)已取得累累硕果:在大尺寸氮化镓材料制备等领域取得重大突破,累计申请核心专利超200项;材料生长创新平台推动可见光通信应用等领域技术指标国内领先。

  根据《苏州市纳米新材料产业创新集群行动计划(2023-2025年)》,该市将努力打造全球最具吸引力的纳米新材料产业创新集群,力争到2025年,全市纳米新材料产业产值突破1000亿元。对照这一目标,苏州工业园区正奋力续写更多精彩故事。

  新华日报·交汇点记者孟旭 王俊杰