中国，上海，2024年7月22日——在科创板开市五周年之际，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）也迎来了上市五周年。作为科创板首批上市的25家企业之一，依托强大的政策与资金支持，中微公司坚持高质量发展，在技术进步、业务发展、业绩增长、规范治理等方面扎实推进，综合竞争力持续提升，取得了一系列突破性进展与成果。
截至2024年6月，公司累计已有5164个反应台在国内外131条生产线实现量产和大规模重复性销售； 截至2024年6月，公司已申请2648项专利，其中发明专利2224项；截至2024年6月，公司员工2085人，其中研发人员占46.38%，同比2019年，员工人数增长188%； 2023年公司营业收入和归母净利润均创历史新高，分别达到62.64亿元和17.86亿元，是2019年销售额和利润的3倍和9倍；累计荣获科学技术、客户满意度、知识产权、质量认证等领域的百余项知名奖项，连续多年在美国TechInsights全球客户满意度评比中名列前茅。
2019年7月，科创板正式开板并施行注册制，为科创产业发展注入了新的活力，也为高新技术企业发展创造新的机会。自带“科创DNA”的中微公司成为了这块“试验田”的首批选手。中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示：“在科创板首批上市，对中微公司意义重大。科创板的推出，为科创企业提供了一片养分充足、动能十足的土壤，中微公司拓宽了融资渠道，增强了品牌的市场影响力，也赢得了更多与产业链上下游企业合作的机会；另一方面，良好的股权激励政策也能够更好地激发人才活力，加快人才队伍建设，为中微公司高质量发展提供人才保障。”
聚焦集成电路关键设备，持续提升产品创新能力
中微公司高度重视核心技术的创新，始终强调创新和差异化并保持高强度的研发投入，致力于开发高端微观加工设备，通过打造具有国际竞争力的技术创新与差异化产品，为客户和市场提供性能优越、高生产效率和高性价比的设备解决方案。截至2024年6月，公司累计已有5164个反应台，在国内、亚洲和欧洲的131条生产线，全面实现了量产和大量重复性销售，赢得了众多客户和供应厂商的信任和支持。
凭借行业首创的刻蚀设备双台机技术，中微公司率先提出“皮米级”加工精度概念，其刻蚀精度已经达到100“皮米”以下水平，相当于头发丝350万分之一的精准度，并且产品具备刻蚀应用覆盖丰富等优势，能够满足90%以上的刻蚀应用需求，技术能力已覆盖5纳米及以下更先进水平。公司2023年新增订单金额约83.6亿元，同比增长约32.3%，其中刻蚀设备新增订单约69.5亿元，同比增长约60.1%。
中微公司持续加码创新研发，在半导体薄膜沉积设备领域不断突破，推出了Preforma Uniflex® CW、Preforma Uniflex® HW、Preforma Uniflex® AW等多款新产品以满足市场需求，为公司业务多元化发展提供了强劲的增长动能。此外，公司新开发的硅和锗硅外延EPI设备、晶圆边缘Bevel刻蚀设备等多款新产品，也会在近期投入市场验证。
在MOCVD技术方面，中微公司自推出第一代MOCVD设备PRISMO A7®以来，不断丰富产品线且快速升级迭代，目前在Mini LED等氮化镓基设备领域，中微公司的市场占有率稳居前列，并持续开发用于氮化镓、碳化硅等功率器件及Micro-LED器件制造的MOCVD设备。此外，中微公司还通过投资布局了第四大设备市场——光学检测设备。
夯实科技创新根基，为高质量发展蓄势发力
中微公司上市后，高效运用募集资金，持续创新增效、精益运营，与客户及合作伙伴协作共赢，实现了产品订单及销售额的稳步提升。在2023年，公司营业收入和归母净利润均创历史新高，分别达到62.64亿元和17.86亿元，是2019年销售额和利润的3倍和9倍。
登陆科创板后，中微公司持续推动落实以研发创新为驱动的高质量增长策略，保持高水平的研发投入。2023年，中微公司在研发领域的投入高达12.62亿元，同比增长35.89%，研发投入占公司总收入的比例为20.15%。截至2024年6月，公司累计申请专利已达2648项，已获授权专利1670项，其中发明专利占比高达85.87%。
中微公司汇聚全球经验丰富的半导体设备人才，并为其提供广阔的职业发展空间，构建专业线、管理线发展双通道，并通过内容丰富的职业培训为人才成长营造良好的环境。上市后，中微公司实施了基本覆盖全员的第二类限制性股票激励计划，激发了团队活力，保证了核心技术团队和技术开发的稳定性和持续性。截至2024年6月，中微公司的全球员工总数已达到2085人，其中研发人员占比接近半数，高达46.38%，研发人员中，硕士及博士研究生的比例达50.98%，为公司的技术创新提供了坚实的人才保障。
2023年，公司位于南昌的生产研发基地正式投入运营，上海临港生产和研发基地目前也已部分启用，位于临港滴水湖畔的总部大楼的建设工作也在稳步推进中。不久之后，中微公司的厂房和办公楼总面积将达到45万平方米，为公司进一步扩充高端设备产能、提升公司研发能力和科技创新水平奠定坚实的基础。中微公司秉持绿色发展理念，明确了2035年实现自身碳中和的目标，运用先进厂务管理系统打造智能工厂，建设智能化仓库，通过不断探索实践，积极应对气候变化，助力国家“双碳”目标实现。
新起点续征程，打造具有国际竞争力的平台型企业
中微公司坚持自主创新，厚积薄发，在科学技术、客户满意度、知识产权、质量认证等领域获得众多赞誉，累计荣获百余项知名奖项。在美国TechInsights全球客户满意度调查中，中微公司连续多年排名位居前列，2023年荣获“上海市科技进步一等奖”，并多次入选福布斯中国最具创新力企业50强榜单。中微公司的先进设备产品在众多不同领域彰显出了“中国智造”与“中国质造”的强大竞争力，两次荣获“中国专利金奖”，多次荣获“中国专利优秀奖”、“上海市发明创造专利奖”、“上海市知识产权创新奖”等奖项。
2024年，证监会发布了《关于深化科创板改革服务科技创新和新质生产力发展的八条措施》，更好地为科技创新和新质生产力发展提供服务。中微公司也借此之际，将上市五周年作为新起点，继续坚持“三维发展”战略，在持续聚焦集成电路关键设备领域、继续扩展传感器、发光二极管LED、微显示、太阳能电池、功率器件等泛半导体关键设备领域的基础上，不断探索公司核心技术在其他新兴领域和国计民生上的发展机会。此外，作为国内领先的高端微观加工设备公司，中微公司将整合产业链上下游和相关资源作为另一发力点，希望凭借充分发挥自身的行业影响力、聚集力 ，积极推动一批国内外领先的半导体设备、材料和关键零部件配套企业协同发展，共同打造企业创新联合体，逐步形成产业集群。
展望未来，中微公司将继续秉承并深化“四个十大”的企业文化，即“产品开发十大原则”、“战略销售十大准则”、“营运管理十大章法”以及“精神文化十大作风”。同时，公司坚定执行三维发展战略，携手产业链上下游合作伙伴，瞄准全球科技的最前沿，持续推动创新与突破，实现高速、稳定、健康和安全的高质量发展，力争成为国内外一流的半导体设备和高科技领先企业。
