12月26日,弥费科技(上海)股份有限公司(以下简称"弥费科技")在上海临港新片区举办"弥费科技临港生产基地暨全球研发中心启用仪式"。弥费科技专注于AMHS的研发、生产与制造,临港工厂作为弥费科技AMHS项目研发和生产总基地,占地面积约8000平米,其中建设了2000平米的以天车为核心的洁净室AMHS整体解决方案标准化示范线。

  弥费科技董事长、CEO缪峰表示:"弥费科技立志成为具有全球影响力的半导体设备公司。2018 年,我们开始专注在 AMHS 系统的自主研发,至今已经推出了 33 款AMHS 软件及相关硬件,并且进入了全球前五大半导体晶圆厂之中的四家。新工厂的启用标志着弥费科技的研发、生产以及整体运营能力进一步提升。"

  半导体晶圆厂自动物料搬运系统AMHS是能够直接影响半导体晶圆厂的物料运转、产能绩效的核心系统之一,可实现半导体晶圆制造过程中的高效自动化,有效提高晶圆厂生产线运行效率和稳定性,降低人工成本和错误率,为客户降本增效,扩大竞争优势提供助力。

  作为中国领先的半导体晶圆厂AMHS设备整体解决方案供应商,弥费科技完成了从AMHS产品供应商向AMHS系统级供应商的演进。随着率先完成晶圆厂AMHS系统级整厂订单交付与验收,弥费科技已成为国内首家具备整厂级AMHS解决方案、量产能力、项目实施经验和交付案例的国产替代供应商,填补了国产半导体AMHS系统在该领域的空白。

  弥费科技CTO李宏伟介绍,成立至今,弥费科技形成了五大核心竞争力:成套能力,产品组合可以建设整个晶圆厂;正向研发设计能力,从仿真、设计到验证,全体系保证产品质量;自主研发能力,背后是对整个生态体系的建设;应用能力,核心成员均为来自国内外知名晶圆厂的资深从业者,可以非常精准地指导产品定义;算法能力,可以支撑500 台甚至1000 台的天车调度。

  历经多年的持续研发,弥费科技推出了天车核心传输设备、协作式机器人、晶圆存储设备、光罩存储设备、缓冲存储设备、上下料口净化设备等三十余种AMHS设备和软件调度系统,知识产权数量达到200件以上。AMHS软硬件产品已累计交付超过30家国内外晶圆厂客户,同时积累了丰富的技术和项目经验。

  截止目前,弥费科技自主研发的AMHS核心传送设备天车OHT、存储设备Stocker都已完成多个版本的技术迭代。在软件调度系统方面,成立了X-Lab实验室,基于领先算法持续提升系统效能。该实验室正从大规模调度的全局优化、机器视觉代替传感器、可预测性维护三个方向发力,用AI技术为系统赋能。

  缪峰表示,弥费科技一路走来不断开拓壮大,临港工厂作为弥费科技AMHS进入大批量量产阶段重要的生产基地,新工厂交付能力较之前提升了4倍,有效填补了国产半导体AMHS市场空白,弥费科技还将进一步实现8英寸和12英寸大型半导体晶圆厂AMHS的整厂量产交付,并基于技术实力进军国际市场。

  未来,弥费科技将继续加大研发投入,提速产能部署,以高效、精准、安全的AMHS产品与解决方案,以"持续创造客户价值"为导向,为客户提供卓越的技术支持和服务,助力集成电路产业实现持续节能增效,提升市场竞争力。